内层_CCD对位平行光曝光机
双CCD曝光前对位精度校验。 平行光曝光系统。 对位校验精度±10μm。 重复对位精度±10μm。 曝光分辨率3mil。
日本EMMA ELX6146飞针测试机
自动飞针测试机 用途：无需测试模型的快速样板测试 特性： 1) PAD Pitch ：180um 2)最小尺寸 测试：100um
蚀刻机
内层板显影，蚀刻和剥膜 1)稳定生产0.1-2.0mm（不含铜）基板 2)最小线宽/线距：3/3mil
阻焊丝印机和曝光机
防尘级别为10000级
阻焊无尘室
测试机 型号：10240&6144测试点 电压：50-300伏 连续性测试：5-100 欧姆 绝缘测试：1M-100M 欧姆
内外层图形转移无尘室
防尘级别为10000级