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平行光曝光机
    发布时间: 2020-07-21 13:17    

内层_CCD对位平行光曝光机
双CCD曝光前对位精度校验。
平行光曝光系统。

双CCD曝光前对位精度校验。
平行光曝光系统。
 对位校验精度±10μm。
重复对位精度±10μm。
曝光分辨率3mil。